拓荊科技取得半導體薄膜制造裝置和方法專利，可實現(xiàn)一種制造半導體薄膜的裝置和方法
2023-12-01 15:14
來源: 水母GPT
影響力評估指數(shù)：10
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2023年12月1日，拓荊科技(688072)股份有限公司獲得一項關(guān)于制造半導體薄膜的裝置和方法的專利，授權(quán)公告號為CN114686849B，申請日期為2020年12月。該裝置包括腔室、噴淋板、晶圓承載盤體和抽氣部件。
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