上海微系統(tǒng)所衛(wèi)星激光通信用高精度MEMS快反鏡取得進(jìn)展
2025-05-07 10:53
來源: 云財經(jīng)
影響力評估指數(shù)：17.21
云財經(jīng)訊，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感器技術(shù)全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研制的MEMS快反鏡的鏡面尺寸大，封裝體積小。線性度高，角分辨率佳，響應(yīng)速度快，重復(fù)定位精度高，鏡面動態(tài)形變小。
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