13,主要應(yīng)用于CISisolation等高深寬比結(jié)構(gòu),包括存儲芯片的相應(yīng)結(jié)構(gòu),下一步將在頭部晶圓廠上線測試。">

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艾森股份:KrF光刻膠下一步將在頭部晶圓廠上線測試

2025-11-13 18:31    來源: 云財(cái)經(jīng)    影響力評估指數(shù):18.71  
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云財(cái)經(jīng)訊,艾森股份(688720)發(fā)布投資者關(guān)系活動記錄表,目前公司KrF光刻膠AR(深寬比)>13,主要應(yīng)用于CISisolation等高深寬比結(jié)構(gòu),包括存儲芯片的相應(yīng)結(jié)構(gòu),下一步將在頭部晶圓廠上線測試。